應用六標準差於TFT-LCD Array製程Hillock不良改善之研究－以A公司為例

以作者查詢圖書館館藏

、以作者查詢臺灣博碩士

、以作者查詢全國書目

、勘誤回報

、線上人數：121

、訪客IP：3.145.59.187

姓名

廖芸箴(Yun-Chen Liao) 查詢紙本館藏

畢業系所

工業管理研究所在職專班

論文名稱

應用六標準差於TFT-LCD Array製程Hillock不良改善之研究－以A公司為例

相關論文

★ 佈置變更專案工程的執行研究－以H公司研發單位為例	★ MIL-STD-1916、MIL-STD-105E與結合製程能力指標之抽樣檢驗計畫
★ 建構客戶導向的製造品質資訊系統--以某筆記型電腦專業代工廠商為例	★ GMP藥廠設施佈置規劃的探討--以E公司為研究對象
★ 應用Fuzzy c-Means演算法之物流中心位址決策模式研究	★ 品質資訊系統之規劃與建構 -- 以某光碟製造公司為研究對象
★ 從製程特性的觀點探討生產過程中SPC管制圖監控運用的適切性 -- 以Wafer Level 封裝公司為例	★ 六標準差之應用個案研究-以光學薄膜包裝流程改善為例
★ 利用六標準差管理提昇中小企業之製程品質-以錦絲線添加防銹蠟改善為例	★ 專業半導體測試廠MES 系統導入狀況、成果及問題之探討-以A 公司為例
★ 以RFID技術為基礎進行安全管理導入－以A公司為例	★ 如何提昇產品品質及降低成本—以光碟壓片廠A公司為例
★ ERP導入專案個案分析—以半導體封裝廠A公司為例	★ 石英元件製造業之延遲策略應用— 以T公司為研究對象
★ 十二吋晶圓廠自動化搬運系統規劃與導入—以A公司為例	★ 半導體封裝產業之生產革新改善活動-A半導體股份有限公司導入經驗探討-

檔案

[Endnote RIS 格式]

[Bibtex 格式]

[相關文章]

[文章引用]

[完整記錄]

[館藏目錄]

至系統瀏覽論文 ( 永不開放)

摘要(中)

隨著車用產品與隨身電子產品的蓬勃發展，顯示器產業的產值仍不斷成長。隨著中、日、韓等國競爭，面板產業競爭激烈，為增加市場競爭力，如何加快面板開發速度和良好的產品良率，成為各企業努力的首要目標。公司的製程良率不僅直接影響到產品品質，也影響著生產和報廢成本的高低，因此製程良率成為決定公司營運好壞的關鍵因素。
現今許多公司都使用六標準差手法追求產品之高品質，利用數據化的分析來推動問題並提供解決方法，有效分析造成問題的根本原因並加以改善。本論文以TFT-LCD產業Array製程為研究實驗，以六標準差手法進行專案管理的方式進行產品良率及製程參數最佳化之改善。首先使用特性要因圖找出產品主要影響良率的因素，再利用柏拉圖分析找出線不良的成因。後續利用分析手法，找出影響產品品質關鍵的重要因子：（1）Array製程中的成膜製程之Hillock不良（2）SDR製程停留時間過久。以DOE實驗設計方式進行多種參數組合之測試分析，將成膜製程參數中的成膜溫度和傳送溫度降至常溫，搭配SDR製程的停留時間控管在一天以內，並將參數最佳化導入量產品之生產。有效將個案公司之中小尺寸面板產品的線不良不良率由34%降低至3%，其改善的財務效益：報廢成本 = 800萬-20 萬 = 780萬。不僅有效提升中小尺寸產品良率，並可大幅降低開發成本，成功驗證此分析手法提升品質之水準。

摘要(英)

Display industry of output value is still growing,with the growth of automobile electronics and portable electronic products. With the display industry of competition in China, Japan and other countries,taiwan display industry in order to increase market competitiveness, how to accelerate product development speed and good product yield is most important.The display company′s of process yield is not only impact on product quality, but also impact on production costs,so process yield is a critical factor for company′s operating.
Many apply six-sigma method to pursue high-quality product.Digitiz companties ation is mainly used to analyze the root cause and further improve the fundanmental problem.This thesis studies the Array process in TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Dispaly）industry.The six-sigma project managemaent is applied to improve product yield rate and optimal parameter.
First we applied Cause and effects chart to analyze the possible factor of defect rate.Moreover,Plato,instrumental analysis,‎ statistical method,DOE are applied to find out some major factors.Finally,the influence on Array process resulting in the main factors of source line defect are the two factors: deposit of film temperature and loadlock temperature in physical vapor deposition process,waiting time in source drain romove photoresist process.
Based on design of experiment,multiple parameter combinations are tested and analyzed.The results show that deposit of film temperature and loadlock temperature keep room temperature and waiting time control on one day.When the optimal combination is appplied to mass production,the source line defective rate is decrease from 34% to 3%.Scrap cost is decrease from eight million to two hundred thousand.Furthermore,the process can also achieve more productive and efficient.The study reveals that the proposed method can successfully imporve the quality.

關鍵字(中)

★ 六標準差
★ TFT-LCD
★ Array製程
★ Hillock不良改善

關鍵字(英)

★ Six-sigma
★ TFT-LCD
★ Array process
★ Hillock defect

論文目次

目錄……………………………………………………………………………….. iv
圖目錄…………………………………………………………………………….. v
表目錄…………………………………………………………………………….. vii
第一章緒論……………………………………………………………………… 1
1.1 研究背景……………………………………………………………. 1
1.2 研究動機……………………………………………………………. 2
1.3 研究目的……………………………………………………………. 2
1.4 研究範圍……………………………………………………………. 3
1.5 論文架構……………………………………………………………. 3
第二章文獻探討………………………………………………………………… 6
2.1 六標準差簡介………………………………………………………. 6
2.2 六標準差方法………………………………………………………. 10
2.3 薄膜電晶體液晶顯示器原理………………………………………. 15
2.4 薄膜電晶體液晶顯示器製程介紹…………………………………. 18
第三章個案公司介紹…………………………………………………………… 25
3.1 個案公司簡介………………………………………………………. 25
3.2 發展歷程……………………………………………………………. 26
3.3 經營理念……………………………………………………………. 27
3.4 產品介紹……………………………………………………………. 28
3.5 技術研發……………………………………………………………. 28
3.6 未來挑戰……………………………………………………………. 30
第四章個案分析與討論………………………………………………………… 31
4.1 定義階段……………………………………………………………. 31
4.2 衡量階段……………………………………………………………. 36
4.3 分析階段……………………………………………………………. 39
4.4 改善階段……………………………………………………………. 47
4.5 控制階段……………………………………………………………. 52
第五章結論與建議……………………………………………………………… 53
5.1 研究結論……………………………………………………………. 53
5.2 對個案公司的建議…………………………………………………. 54
5.3 後續研究的建議……………………………………………………. 55
參考文獻………………………………………………………………………….. 56

參考文獻

一、中文部份：
1. 洪偉晉，「應用六標準差手法於液晶顯示器Mura改善之研究」，國立屏東科技大學，碩士論文，民國101年。
2. 張清波，「TPS，精實生產，精實六標準差」，品質月刊，44(3), 16-22頁，2008。
3. 麥克‧喬治，樂為良譯（2002），精實六標準差，美商麥格羅‧希爾。
4. 曾慶毅，「Six Sigma 之實務應用方法研究—以飛機零組件維修為例」，元智大學工業工程與管理學系學位論文，民國92年。
5. 舒伯‧喬賀瑞，胡瑋珊譯（2002），六標準差設計:打造完美的產品與流程，經濟新潮社。
6. 黃彥綺，「運用精實六標準差手法於改善TFT-LCD 中 JI Process 之TAB 製程不良率」，亞洲大學，碩士論文，民國103年。
7. 楊錦瑤、陳建雄、陳高山（2002），導入 6 Sigma 觀念與實務: 讓企業二年成長 10 倍，華邦發行。
8. 劉彥佐，「應用六標準差與田口方法於TFT-LCD之ODF製程改善研究」，逢甲大學，碩士論文，民國105年。
9. 鄭智仁，「六標準差手法應用於LCD Module製程品質改善之研究-以個案公司為例」，國立高雄應用科技大學，碩士論文，民國100年。
10. 戴亞翔（2006），TFT-LCD 面板的驅動與設計，五男出版公司。
11. 蘇朝墩（2009），六標準差，前程文化事業有限公司。
二、英文部份：
1. George, M. （2002）. Lean six sigma: combining six sigma quality with Lean production speed, combining six sigma quality with Lean production speed.
2. Hoerl, R. W., Montgomery, D. C., Lawson, C., & Molnau, W. E. （2001）. Six Sigma black belts: What do they need to know?/Discussion/Response. Journal of Quality Technology, 33(4), 391.
3. Huang, C., Juan, H. H., Lin, M. S., & Chang, C. J. （2007）. Radio resource management of heterogeneous services in mobile WiMAX systems [Radio Resource Management and Protocol Engineering for IEEE 802.16]. IEEE Wireless Communications, 14(1), 20-26.
4. McFadden, F. R. （1993）. 6-SIGMA QUALITY PROGRAMS. Quality Progress, 26(6), 37-42.
5. Przekop, P. （2005）. Six Sigma for business excellence. McGraw Hill Professional.

指導教授

何應欽

審核日期

2017-5-5

推文