半導體製程設備耗材供應商評選分析法

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姓名

趙桂明(Kuei-Ming Chao) 查詢紙本館藏

畢業系所

工業管理研究所

論文名稱

半導體製程設備耗材供應商評選分析法

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摘要(中)

因應新興技術產品多樣化及較短的生命週期，現今與供應鏈合作的模式關係已經演進朝向「策略供應管理」。企業策略競爭的優勢部分依賴在供應鏈的競爭與管理，良好的供應鏈管理其中又以選擇適當的供應商最為重要。選定適當的供應商將進一步提升產品的競爭力及客戶滿意度。
在半導體產業的技術不斷精進，對於半導體製程設備系統的要求越來越複雜。除此之外，市場的需求也不斷地提升與擴充。伴隨著半導體製程設備市場規模的擴充，半導體製程設備商在台灣現地的採購金額也將持續成長。在所有的前段晶圓製程設備中，以乾蝕刻設備腔體中所使用的消耗零件為居多。消耗零件的良窳在於設備性能有決定性的影響、進而對於客戶產品的製程良率也有顯著的貢獻。目前也依據客戶的方針及需求在台灣現地建立所需消耗零件的供應鏈，因此該消耗零件供應商的建立及選定結果勢必影響到對客戶端的供給。
供應商的選定是一種多準則決策的問題(Multiple Criteria Decision Making)，本研究將以決策實驗室分析法DEMATEL(Decision Making Trial and Evaluation Laboratory)，探討半導體設備製造商既有的供應商選定要項，在台灣選定耗材供應商各個構面與準則間之關聯度及因果關係﹔再以網路程序分析法ANP(Analytic Network Process)得到各準則
間相對性權重的分析。

摘要(英)

In response to the diversification and short life cycle of new technology products, the relationship with supply chain cooperation has evolved to “strategic supply management” mode. The advantages of strategic corporate competition depend on part of competition and management in supply chain, choosing the appropriate supplier is the most important part of supply chain management. The selection of the right suppliers will further enhance the
competitiveness and customer satisfaction of the products.
As the technologies in the semiconductor industry continue to improve, the requirements for process equipment systems become more and more complicated. In addition, the market demand continues to increase and expand. With the expansion of the market for semiconductor process equipment, the equipment vendors purchase amount of parts will also grow in Taiwan. In all wafer processing equipment, dry etching equipment used majority
consumption parts in chamber.
The consumable parts performance has a decisive influence, which in turn has a significant contribution to the process yield of the customer′s product. At present, to establish consumable parts supply chain is according to customer’s policy and demand in local. Therefore, the establishment of the consumable parts supplier and the selection result will inevitably affect the supply to the customer.
Supplier selection is a multi-criteria decision making problem (Multiple Criteria Decision Making), In this paper, we will study decision-making laboratory analysis DEMATEL (Decision Making Trial and Evaluation Laboratory) to discuss the correlation and causal relationship between the selected facets and the criteria for the supplier of semiconductor process equipment in Taiwan, Then use the ANP (Analytic Network Process)
to get the relative weight of every facet and criterion.

關鍵字(中)

★ 供應商評選

關鍵字(英)

論文目次

目錄
中文摘要 i
英文摘要 ii
誌謝 iii
目錄 iv
圖目錄 vi
表目錄 viii
第一章、緒論 1
1-1 研究背景 1
1-2 研究目的 3
1-3 研究範圍 3
1-4 研究架構與方法 3
第二章、文獻探討 5
2-1 晶圓製程乾蝕刻簡介及產業現況 5
2-1-1 晶圓製程乾蝕刻簡介 5
2-1-2 產業現況及趨勢 7
2-2 供應商評選 10
2-2-1 供應商評選要項 10
2-2-2 供應商實地考察稽核 15
2-3 多準則決策(Multiple Criteria Decision Making) 17
2-3-1多準則決策的特點 17
第三章、研究方法 21
3-1 決策實驗室分析法(DEMATEL) 21
3-1-1決策實驗室分析法定義 21
3-1-2 DEMATEL運算步驟 22
3-2 網路程序分析法(ANP) 25
3-2-1網路程序分析法定義 25
3-2-2 ANP決策程序 30
3-3 研究對象 32
第四章、個案研究 34
4-1 個案背景介紹 34
4-2 決策實驗室分析法DEMATEL問卷設計及結果分析 37
4-3 網路程序分析法ANP問卷設計及結果分析 51
4-4 綜合結果分析 59
第五章、結論與建議 61
5-1 研究結論 61
5-2 未來研究建議 62
參考文獻 64
附錄一 DEMATEL問卷 67
附錄二 ANP問卷 74

參考文獻

中文部分
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[7] 簡竣諒，「運用DEMATEL與ANP方法探討直升機飛安管理」，中華大學，碩士論
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英文部分
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網站資料
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[32] 集邦科技(TrendForce) http://tw.dramexchange.com/research/2017/09/trendforce-dramexchange-NANDFLASH-20170927
[33] Tokyo Electron Limited http://www.tel.co.jp/ir/policy/mplan/index.htm
[34] 遠見雜誌https://www.gvm.com.tw/article.html?id=27216

指導教授

高信培

審核日期

2018-7-4

推文