凹形球面微電極與異形微孔的成形技術研究; Research of concave sphere electrode and special-shaped micro-holes fabrication technology

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Title:	凹形球面微電極與異形微孔的成形技術研究;Research of concave sphere electrode and special-shaped micro-holes fabrication technology
Authors:	黃建堯;Chien-Yao Huang
Contributors:	機械工程研究所
Keywords:	超音波振動研磨;微細放電加工;凹形球面電極;異形孔;磁力研磨;concave sphere electrode;magnetic abrasive;special-shaped micro-holes;Micro-EDM;Ultrasonic vibration lapping
Date:	2002-06-21
Issue Date:	2009-09-21 11:38:15 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	由於微細孔在微機電系統(Micro-Electro Mechanical Systems)、微機械元件(micro-machine elements)與生物科技上應用得非常廣泛，因此如何製造出尺寸精密且形狀精度優良的微細孔洞，一直是微細製造技術所追求的目標。雖然微細孔的製造以圓形孔居多，但有些微流量閥則需要有較複雜的剖面形狀(如方形、三角形、多邊形等)且大深寬比的孔洞做為微射流孔(micro-fluidics holes)，因此如何加工出剖面不是圓形的精細異形微孔是我們這次的研究重點之一。此外，利用相似的技術所加工出來的盲孔也有其實用價值，例如可以當作微細夾具來使用，所以我們在此也探討微細盲孔的成形技術。本研究採用一種結合微細放電及超音波振動研磨的複合加工方法，來製造高精度且大深寬比的異形微孔。若使用適當條件加工，超音波振動研磨加工後之微孔入出口平均邊長差與純放電加工後的微孔相比較，我們可以獲得入出口平均邊長差達到67.1 %的改善率。另外，為了促使基因轉殖與動物複製技術，能夠在較有效率的環境下加工，夾持細胞用的微細電極夾具若能加以改良，相信就可以達到這個目標。基於這樣的原因，我們發展出一種結合微放電、微細磨粒研磨與磁力研磨的加工方法，製作出夾具的前端具有凹型球面盲孔的微細電極，而此夾具的凹型球面可使細胞的夾持更為迅速，有效的縮短複製技術的時間。目前採用此種加工方法，已經成功製造出直徑150 µm、中心深度50 µm的凹形球面微細電極，利用此球面電極來夾持豬胚胎，不但能快速達成目標，而且不需太專業的人員即可操作。 Research of concave sphere electrode and special-shaped micro-holes fabrication technology
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