A case study on the wastewater reclamation and reuse in the semiconductor industry

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题名:	A case study on the wastewater reclamation and reuse in the semiconductor industry
作者:	You,SH;Tseng,DH;Guo,GL
贡献者:	環境工程研究所
日期:	2001
上传时间:	2010-07-06 16:13:47 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	The semiconductor factory generally requires ultra pure deionized water to rinse their integrated circuit (IC) crystal chips in Taiwan. When tap water is used as the source of deionized water supply system, the reject from the devices of producing pure wa
關聯:	RESOURCES CONSERVATION AND RECYCLING
显示于类别:	[環境工程研究所 ] 期刊論文

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