Interfacial reactions of 2-D periodic arrays of Ni metal dots on (001) Si

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題名:	Interfacial reactions of 2-D periodic arrays of Ni metal dots on (001) Si
作者:	Cheng,S. L.;Lu,S. W.;Chen,H.
貢獻者:	化學工程與材料工程研究所
關鍵詞:	ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY;NANOSPHERE LITHOGRAPHY;EPITAXIAL-GROWTH;NANOWIRES;FABRICATION;SILICIDE;PHASE;TRANSFORMATION;MECHANISM;CRYSTALS
日期:	2008
上傳時間:	2010-07-06 16:15:17 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	The fabrication of 2-D periodic arrays of nickel metal dots using polystyrene (PS) nanosphere lithography and the interfacial reactions of the Ni dot arrays on (0 0 1) Si substrates after different heat treatments have been investigated. The epitaxial NiS
關聯:	JOURNAL OF PHYSICS AND CHEMISTRY OF SOLIDS
顯示於類別:	[化學工程與材料工程研究所] 期刊論文

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