Deposition of nitrogen-containing diamond-like carbon films on acrylic substrates by an ion beam process

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题名:	Deposition of nitrogen-containing diamond-like carbon films on acrylic substrates by an ion beam process
作者:	Jan,DJ;Ai,CF;Lee,CC
贡献者:	光電科學與工程學系
关键词:	MECHANICAL-PROPERTIES;AMORPHOUS-CARBON;THIN-FILMS;IMPROVEMENT;ADHESION;COATINGS
日期:	2004
上传时间:	2010-07-07 14:12:38 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	The insufficient adhesion of diamond-like carbon (DLC) film deposited on acrylic substrate was enhanced using ion beam treatment with nitrogen as a working gas before and during the deposition. The stress-related, structural and optical characteristics of
關聯:	VACUUM
显示于类别:	[光電科學與工程學系] 期刊論文

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