半導體晶圓廠內Interbay與Intrabay自動化物料搬運系統之控制問題的探討; A Study on the Control Problems of Interbay and Intrabay Material Handling Systems in a Semiconductor Fab

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題名:	半導體晶圓廠內Interbay與Intrabay自動化物料搬運系統之控制問題的探討;A Study on the Control Problems of Interbay and Intrabay Material Handling Systems in a Semiconductor Fab
作者:	何應欽
貢獻者:	工業管理研究所
關鍵詞:	晶圓廠;Interbay;Intrabay;晶舟搬運;載取派送;運送派送;晶舟選取;電腦模擬;工業工程類;電子電機工程類
日期:	2007-07-01
上傳時間:	2010-12-21 17:59:21 (UTC+8)
出版者:	行政院國家科學委員會
摘要:	半導體產業是一個資本與技術密集的產業，投資一座半導體晶圓廠需要大量的資金，其製程設備非常昂貴，折舊速度也快，因此提升晶圓廠的生產力與產能利用率一直是相當重要的課題。已有許多學者從各方面來尋求解決與改善之道，本研究將著重於晶圓廠內自動化物料搬運系統之晶舟派送與載取問題。期望經由這些問題的研究與探討，能更增進晶圓廠內的物料搬運效率，進而提升晶圓廠的生產力。本研究所探討的問題則分別屬於「Interbay 的晶舟搬運問題」與「Intrabay 的晶舟派送與載取問題」等兩類問題，此兩類問題分別解釋如下： .. 「Interbay 的晶舟搬運問題」主要是處理Bay 與Bay 間的晶舟搬運問題。此問題會隨著Interbay 的自動物料搬運系統與軌道設計的不同而有所變化，本研究的Interbay 自動化物料搬運系統為單載量OHS（Overhead Shuttle），且其軌道為雙迴圈軌道。在此環境下「Interbay 的晶舟搬運問題」包含幾個子問題，包括「OHS 的載取派送問題」與「晶舟選取問題」。本研究將專注於「晶舟選取問題」的解決，且假設OHS 的「載取派送」問題是以「先遇到先服務法則」來解決。「晶舟選取問題」發生於一OHS 將到達一個Bay 的Stocker 時，此時吾人須決定Stocker 內的哪一個晶舟可優先被OHS 載取。吾人將針對「晶舟選取問題」，提出不同的晶舟選取運送法則，並藉由模擬實驗，來測試這些法則的表現，吾人也將探討系統的忙碌程度對所提出的法則的影響為何。 .. 「Intrabay 的晶舟搬運問題」主要是處理Bay 內某兩機台間或是某一機台與Stocker 間的晶舟搬運。「Intrabay 的晶舟搬運」大部份是機台與機台間的晶舟搬運，與「Interbay 的晶舟搬運」是不同Bay 之Stocker 間的晶舟搬運會有所差異。本研究的Intrabay 物料搬運系統為無人搬運車（AGV），而AGV 的派車與晶舟載取問題將因AGV 的負載量是單負載或是多負載而有所差異。基本上，這兩種系統皆有「AGV 的載取派送問題」與「晶舟選取問題」，但此兩問題會因 AGV 是單載量或是多載量而有所差異。在發展這兩種系統的AGV 載取派送法則與晶舟選取法則時，吾人必須考慮這些差異。另一方面有兩問題是僅存於多載量AGV 的，即「載取或運送決策問題」與「AGV 運送派送問題」。「載取或運送決策問題」發生於當一台既非全空亦未全滿的多載量AGV，此時的AGV 可執行的下一任務可以是載取任務（即去載取另一個新的晶舟到車上）或運送任務（即運送車上的某一晶舟至其下一個機台），這也是吾人所須面對的決策。「AGV 運送派送問題」則發生於一台多載量AGV 載有兩個或是更多個晶舟且要執行運送任務時，此時吾人必須決定AGV 該優先運送哪一個晶舟至其下一個機台。本研究也將就多載量AGV 所特有的問題加以研究，並提出解題法則，在發展法則時也要考慮到「優先晶舟」。吾人也將藉由模擬實驗，來測試這些法則在不同衡量指標的表現，檢驗不同法則之間的相互影響，並探討系統的忙碌度對法則的影響。本研究的進行步驟簡述如下：(1)首先，吾人將對「Interbay 的晶舟搬運問題」與「Intrabay 的晶舟搬運問題」之各個子問題的相關文獻，加以收集、回顧與研究。(2)在瞭解這些問題的相關研究後，吾人將正式定義這些問題。(3)然後，吾人將針對這些問題，分別提出多種解題方法。在方法上，吾人將強調實用性、易用性、與效率性並重的原則。(4)為了瞭解這些方法的表現，吾人將利用電腦來實驗、模擬、測試與比較。(5)吾人可根據實驗的結果，瞭解各個方法的表現，這些知識將可幫助吾人進一步改善方法與提出新方法。最後，吾人希望本研究成果對半導體產業能有實質的幫助，吾人也希望本研究成果有著拋磚引玉的作用，能對其他未來的相關研究有所助益。研究期間：9508 ~ 9607
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:	[工業管理研究所 ] 研究計畫

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