微光學元件之製作與量測

NCU Institutional Repository > 理學院 > 光電科學研究所 > 博碩士論文 > Item 987654321/6639

請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/6639

題名:	微光學元件之製作與量測
作者:	羅德亨;De-He Lo
貢獻者:	光電科學研究所
關鍵詞:	微光學;準分子雷射;LIGA-like
日期:	2000-07-13
上傳時間:	2009-09-22 10:24:38 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學圖書館
摘要:	LIGA技術起源於德國，可用已製造高精密度的微結構元件，目前在微光學元件的製作上已扮演相當重要的角色。本論文之研究為利用LIGA-like製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作，方法是使用KrF、波長248nm之深紫外光準分子雷射，透過一片含有數種圖樣之鍍鉻光罩，經由物鏡以投影方式在高分子聚合物基材上進行微加工刻除。同時，透過移動光罩之平台，選擇不同之光罩圖樣來完成各種之微光學元件，最後進行其表面輪廓與光學特性兩部分測量。主要之貢獻在於利用Matlab軟體模擬所製作之微光學元件，並對各種元件之粗糙度加以計算及分析。如此將開拓微光學元件於一個全新的應用領域。 none
顯示於類別:	[光電科學研究所] 博碩士論文

文件中的檔案:

檔案	大小	格式	瀏覽次數

在NCUIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.

社群 sharing