摘要: | 近年來,微光學已成為一熱門的研究領域。一般而言,光學元 件大致上可分為繞射式與折射式兩種,本論文所研究之光阻熔融式 微透鏡陣列,則是屬於折射式光學元件之一。 論文主要在於說明如何設計、製造出一系列之微透鏡陣列,並 以各種檢測之方法,檢驗其特性,以求能找出更佳的製作參數。 實驗中製作出之微(凸)透鏡,其直徑大小在20 mm ~ 100 mm 之間,焦距約為20 mm ~ 300 mm 之間,數值孔徑則介於0.15 ~ 0.5 之間。在品質上大致良好,皆為表面平整度高之球面透鏡。 實驗所得之成品主要的缺點在於其實用性,因為光阻不是一個 好的光學材料。改進方法為利用活性離子蝕刻機,將其形狀轉換至 性質穩定之基板上,以增進其效能。 none |