摘要: | 本計畫主要目的在發展電化學(ECM)製備微梨形碳化鎢電極結合電化學放電加工(ECDM)藍寶石基板之加工法,利用ECM製備微梨形碳化鎢電極,接著再進行ECDM加工藍寶石基板,藉由ECM後表面較為光滑之特性,使氣膜較容易包覆於電極上,且具圓弧化外形之電極,能促使深孔區域更新電解液,提升加工品質及加工速度。本計畫設計創新雙層不鏽鋼之電極模組,利用ECM製備微梨形電極後進行ECDM加工藍寶石基板,探討不同參數如工作電壓、脈衝週期、衝擊係數、Z軸進給速度及主軸轉速對藍寶石基板ECDM加工之出入口孔徑、熱影響區、形狀尺寸精度等影響程度,期能獲得優化參數,克服藍寶石基板材料難以精微加工及加工成本高之困難點。 |