Improved microwave performance of spiral inductors on Si substrates by chemically anodizing a porous silicon layer

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题名:	Improved microwave performance of spiral inductors on Si substrates by chemically anodizing a porous silicon layer
作者:	Yu,MJ;Chan,YJ;Laih,LH;Hong,JW
贡献者:	電機工程研究所
日期:	2000
上传时间:	2010-07-06 18:35:43 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Spiral inductors have been evaluated on Si substrates by inserting a porous Si layer for the application of MMICs. This high-resistive porous Si layer provides a low substrate loss and a low coupling effect. Spiral inductors fabricated on this layer achie
關聯:	MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS
显示于类别:	[電機工程研究所] 期刊論文

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