Effect of ozone cleaning and annealing on Ti/Al/Pt/Au ohmic contacts on GaN nanowires

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题名:	Effect of ozone cleaning and annealing on Ti/Al/Pt/Au ohmic contacts on GaN nanowires
作者:	CHANG Chih-Yang;LAN Tian-Wey;CHI Gou-Chung;CHEN Li-Chyong;CHEN Kuei-Hsien;CHEN Jau-Juin;JANG Soohwan;REN F.;PEARTON S. J.
贡献者:	物理研究所
关键词:	GALLIUM NITRIDE NANOWIRES;BUILDING-BLOCKS;TRANSPORT-PROPERTIES;CATALYTIC GROWTH;FIELD-EMISSION;NANORODS;DEVICES;TEMPERATURE
日期:	2006
上传时间:	2010-07-08 13:25:00 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	We report studies on the effect of UV/ozone cleaning on n-type GaN nanowires prior to Ti/Al/Pt/Au ohmic contact deposition and the effect of annealing temperature on the total resistance of the contacted nanowires. The UV/ozone cleaning for periods of 1-5
關聯:	ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS
显示于类别:	[物理研究所] 期刊論文

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